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用微波等离子体CVD制备C3N4薄膜

文献类型:期刊论文

作者张永平, 顾有松, 常香荣, 田中卓, 时东霞, 张秀芳, 袁磊
刊名材料研究学报
出版日期2001
卷号14页码:311
公开日期2013-09-23
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/44182]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
张永平, 顾有松, 常香荣, 田中卓, 时东霞, 张秀芳, 袁磊. 用微波等离子体CVD制备C3N4薄膜[J]. 材料研究学报,2001,14:311.
APA 张永平, 顾有松, 常香荣, 田中卓, 时东霞, 张秀芳, 袁磊.(2001).用微波等离子体CVD制备C3N4薄膜.材料研究学报,14,311.
MLA 张永平, 顾有松, 常香荣, 田中卓, 时东霞, 张秀芳, 袁磊."用微波等离子体CVD制备C3N4薄膜".材料研究学报 14(2001):311.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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