用于大面积薄膜研究的微波等离子体装置
文献类型：期刊论文
| 作者 | 任育峰 ; 姚鑫兹 ; 杨思泽 ; 江德仪 |
| 刊名 | 核聚变与等离子体物理
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| 出版日期 | 1995 |
| 期号 | 2页码:54-58 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-09-23 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/44202]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 任育峰,姚鑫兹,杨思泽,等. 用于大面积薄膜研究的微波等离子体装置[J]. 核聚变与等离子体物理,1995(2):54-58. |
| APA | 任育峰,姚鑫兹,杨思泽,&江德仪.(1995).用于大面积薄膜研究的微波等离子体装置.核聚变与等离子体物理(2),54-58. |
| MLA | 任育峰,et al."用于大面积薄膜研究的微波等离子体装置".核聚变与等离子体物理 .2(1995):54-58. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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