直流电弧等离子体射流CVD制备多种碳膜
文献类型:期刊论文
作者 | 张建平 ; 袁定朴 ; 翁羽翔 ; 徐积仁 |
刊名 | 核聚变与等离子体物理
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出版日期 | 1993 |
期号 | 4页码:55-60 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2013-09-23 |
源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/44426] ![]() |
专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张建平,袁定朴,翁羽翔,等. 直流电弧等离子体射流CVD制备多种碳膜[J]. 核聚变与等离子体物理,1993(4):55-60. |
APA | 张建平,袁定朴,翁羽翔,&徐积仁.(1993).直流电弧等离子体射流CVD制备多种碳膜.核聚变与等离子体物理(4),55-60. |
MLA | 张建平,et al."直流电弧等离子体射流CVD制备多种碳膜".核聚变与等离子体物理 .4(1993):55-60. |
入库方式: OAI收割
来源:物理研究所
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