激光等离子体化学气相沉积掺氢非晶硅薄膜——一种新的LCVD方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李兆霖 ; 张泽渤 ; 洪熙春 ; 赵玉英 ; 王天眷 |
| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 1986 |
| 期号 | 9页码:589 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-09-23 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/44702]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李兆霖,张泽渤,洪熙春,等. 激光等离子体化学气相沉积掺氢非晶硅薄膜——一种新的LCVD方法[J]. 中国激光,1986(9):589. |
| APA | 李兆霖,张泽渤,洪熙春,赵玉英,&王天眷.(1986).激光等离子体化学气相沉积掺氢非晶硅薄膜——一种新的LCVD方法.中国激光(9),589. |
| MLA | 李兆霖,et al."激光等离子体化学气相沉积掺氢非晶硅薄膜——一种新的LCVD方法".中国激光 .9(1986):589. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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