丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨武保 ; 王久丽 ; 张谷令 ; 范松华 ; 刘赤子 ; 杨思泽 |
| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 53期号:9页码:3099-3103 |
| 公开日期 | 2013-09-23 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/47044]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨武保,王久丽,张谷令,等. 丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究[J]. 物理学报,2004,53(9):3099-3103. |
| APA | 杨武保,王久丽,张谷令,范松华,刘赤子,&杨思泽.(2004).丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究.物理学报,53(9),3099-3103. |
| MLA | 杨武保,et al."丙酮环境下ECR微波等离子体辅助化学气相沉积类金刚石薄膜研究".物理学报 53.9(2004):3099-3103. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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