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不同原料气体直流电弧等离子体制备金刚石薄膜的比较研究

文献类型:期刊论文

作者张建平 ; 翁羽翔 ; 袁定朴 ; 徐积仁
刊名科学通报
出版日期1992
期号18页码:1650-1652
语种中文
公开日期2013-09-23
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/47080]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
张建平,翁羽翔,袁定朴,等. 不同原料气体直流电弧等离子体制备金刚石薄膜的比较研究[J]. 科学通报,1992(18):1650-1652.
APA 张建平,翁羽翔,袁定朴,&徐积仁.(1992).不同原料气体直流电弧等离子体制备金刚石薄膜的比较研究.科学通报(18),1650-1652.
MLA 张建平,et al."不同原料气体直流电弧等离子体制备金刚石薄膜的比较研究".科学通报 .18(1992):1650-1652.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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