等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法
文献类型:期刊论文
作者 | 王久丽 ; 张谷令 ; 王友年 ; 刘元富 ; 刘赤子 ; 杨思泽 |
刊名 | 科学通报
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出版日期 | 2004 |
期号 | 5页码:409-418 |
公开日期 | 2013-09-23 |
源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/47574] ![]() |
专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王久丽,张谷令,王友年,等. 等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法[J]. 科学通报,2004(5):409-418. |
APA | 王久丽,张谷令,王友年,刘元富,刘赤子,&杨思泽.(2004).等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法.科学通报(5),409-418. |
MLA | 王久丽,et al."等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法".科学通报 .5(2004):409-418. |
入库方式: OAI收割
来源:物理研究所
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