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等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法

文献类型:期刊论文

作者王久丽 ; 张谷令 ; 王友年 ; 刘元富 ; 刘赤子 ; 杨思泽
刊名科学通报
出版日期2004
期号5页码:409-418
公开日期2013-09-23
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/47574]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
王久丽,张谷令,王友年,等. 等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法[J]. 科学通报,2004(5):409-418.
APA 王久丽,张谷令,王友年,刘元富,刘赤子,&杨思泽.(2004).等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法.科学通报(5),409-418.
MLA 王久丽,et al."等离子体源离子注入离子鞘层及鞘层扩展动力学计算方法".科学通报 .5(2004):409-418.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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