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低压气相CVD制备六方金刚石薄膜及其鉴定

文献类型:期刊论文

作者张建平 ; 翁羽翔 ; 袁定朴 ; 徐积仁
刊名科学通报
出版日期1993
期号17页码:1561-1564
语种中文
公开日期2013-09-23
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/47611]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
张建平,翁羽翔,袁定朴,等. 低压气相CVD制备六方金刚石薄膜及其鉴定[J]. 科学通报,1993(17):1561-1564.
APA 张建平,翁羽翔,袁定朴,&徐积仁.(1993).低压气相CVD制备六方金刚石薄膜及其鉴定.科学通报(17),1561-1564.
MLA 张建平,et al."低压气相CVD制备六方金刚石薄膜及其鉴定".科学通报 .17(1993):1561-1564.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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