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电子回旋共振等离子体特性及其对生长氮化镓晶膜的影响

文献类型:期刊论文

作者杜小龙 ; 陈广超 ; 江德仪 ; 姚鑫兹 ; 朱鹤孙
刊名物理学报
出版日期1999
期号2页码:68-77
公开日期2013-09-23
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/47705]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
杜小龙,陈广超,江德仪,等. 电子回旋共振等离子体特性及其对生长氮化镓晶膜的影响[J]. 物理学报,1999(2):68-77.
APA 杜小龙,陈广超,江德仪,姚鑫兹,&朱鹤孙.(1999).电子回旋共振等离子体特性及其对生长氮化镓晶膜的影响.物理学报(2),68-77.
MLA 杜小龙,et al."电子回旋共振等离子体特性及其对生长氮化镓晶膜的影响".物理学报 .2(1999):68-77.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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