电子回旋共振等离子体特性及其对生长氮化镓晶膜的影响
文献类型:期刊论文
作者 | 杜小龙 ; 陈广超 ; 江德仪 ; 姚鑫兹 ; 朱鹤孙 |
刊名 | 物理学报
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出版日期 | 1999 |
期号 | 2页码:68-77 |
公开日期 | 2013-09-23 |
源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/47705] ![]() |
专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 杜小龙,陈广超,江德仪,等. 电子回旋共振等离子体特性及其对生长氮化镓晶膜的影响[J]. 物理学报,1999(2):68-77. |
APA | 杜小龙,陈广超,江德仪,姚鑫兹,&朱鹤孙.(1999).电子回旋共振等离子体特性及其对生长氮化镓晶膜的影响.物理学报(2),68-77. |
MLA | 杜小龙,et al."电子回旋共振等离子体特性及其对生长氮化镓晶膜的影响".物理学报 .2(1999):68-77. |
入库方式: OAI收割
来源:物理研究所
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