非平衡磁控溅射法类金刚石薄膜的制备及分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨武保 ; 范松华 ; 张谷令 ; 马培宁 ; 张守忠 ; 杜健 |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 54期号:10页码:4944-4948 |
| 公开日期 | 2013-09-23 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/48036]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨武保,范松华,张谷令,等. 非平衡磁控溅射法类金刚石薄膜的制备及分析[J]. 物理学报,2005,54(10):4944-4948. |
| APA | 杨武保,范松华,张谷令,马培宁,张守忠,&杜健.(2005).非平衡磁控溅射法类金刚石薄膜的制备及分析.物理学报,54(10),4944-4948. |
| MLA | 杨武保,et al."非平衡磁控溅射法类金刚石薄膜的制备及分析".物理学报 54.10(2005):4944-4948. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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