高能量密度脉冲等离子体同轴枪制备Ti(C,N)薄膜研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 彭志坚 ; 苗赫濯 ; 杨思泽 ; 刘赤子 ; 齐龙浩 ; 潘伟 |
| 刊名 | 机械工程材料
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| 出版日期 | 2004 |
| 期号 | 1页码:20-22 |
| 公开日期 | 2013-09-23 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/48232]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 彭志坚,苗赫濯,杨思泽,等. 高能量密度脉冲等离子体同轴枪制备Ti(C,N)薄膜研究[J]. 机械工程材料,2004(1):20-22. |
| APA | 彭志坚,苗赫濯,杨思泽,刘赤子,齐龙浩,&潘伟.(2004).高能量密度脉冲等离子体同轴枪制备Ti(C,N)薄膜研究.机械工程材料(1),20-22. |
| MLA | 彭志坚,et al."高能量密度脉冲等离子体同轴枪制备Ti(C,N)薄膜研究".机械工程材料 .1(2004):20-22. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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