光荧光法测定硅中磷、硼含量
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孟庆惠 ; 于鲲 ; 李永康 ; 许振嘉 ; 陈廷杰 ; 吴灵犀 ; 徐寿定 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 1983 |
| 期号 | 1页码:86-89 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-09-23 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/48609]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孟庆惠,于鲲,李永康,等. 光荧光法测定硅中磷、硼含量[J]. 半导体学报,1983(1):86-89. |
| APA | 孟庆惠.,于鲲.,李永康.,许振嘉.,陈廷杰.,...&徐寿定.(1983).光荧光法测定硅中磷、硼含量.半导体学报(1),86-89. |
| MLA | 孟庆惠,et al."光荧光法测定硅中磷、硼含量".半导体学报 .1(1983):86-89. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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