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基区杂质外扩对SiGe/Si HBT低温特性的影响

文献类型:期刊论文

作者邹德恕 ; 高国 ; 陈建新 ; 杜金玉 ; 张京燕 ; 沈光地 ; 邓军 ; 赵贞勇 ; 黄绮 ; 周钧铭
刊名半导体技术
出版日期1998
期号3页码:10-13
公开日期2013-09-23
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/48800]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
邹德恕,高国,陈建新,等. 基区杂质外扩对SiGe/Si HBT低温特性的影响[J]. 半导体技术,1998(3):10-13.
APA 邹德恕.,高国.,陈建新.,杜金玉.,张京燕.,...&周钧铭.(1998).基区杂质外扩对SiGe/Si HBT低温特性的影响.半导体技术(3),10-13.
MLA 邹德恕,et al."基区杂质外扩对SiGe/Si HBT低温特性的影响".半导体技术 .3(1998):10-13.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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