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基体温度对碳氮薄膜成分和结构的影响

文献类型:期刊论文

作者张永平, 顾有松, 常香荣, 田中卓, 时东霞, 张秀芳
刊名北京科技大学学报
出版日期2001
卷号22页码:160
公开日期2013-09-23
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/48802]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
张永平, 顾有松, 常香荣, 田中卓, 时东霞, 张秀芳. 基体温度对碳氮薄膜成分和结构的影响[J]. 北京科技大学学报,2001,22:160.
APA 张永平, 顾有松, 常香荣, 田中卓, 时东霞, 张秀芳.(2001).基体温度对碳氮薄膜成分和结构的影响.北京科技大学学报,22,160.
MLA 张永平, 顾有松, 常香荣, 田中卓, 时东霞, 张秀芳."基体温度对碳氮薄膜成分和结构的影响".北京科技大学学报 22(2001):160.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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