脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti,Al)N薄膜组织及其性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘元富 ; 韩建民 ; 张谷令 ; 王久丽 ; 陈光良 ; 李雪明 ; 冯文然 ; 范松华 ; 刘赤子 ; 杨思泽 |
| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 53期号:3页码:1301-1305 |
| 公开日期 | 2013-09-23 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/49534]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘元富,韩建民,张谷令,等. 脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti,Al)N薄膜组织及其性能研究[J]. 物理学报,2005,53(3):1301-1305. |
| APA | 刘元富.,韩建民.,张谷令.,王久丽.,陈光良.,...&杨思泽.(2005).脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti,Al)N薄膜组织及其性能研究.物理学报,53(3),1301-1305. |
| MLA | 刘元富,et al."脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti,Al)N薄膜组织及其性能研究".物理学报 53.3(2005):1301-1305. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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