脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘元富 ; 张谷令 ; 王久丽 ; 刘赤子 ; 杨思泽 |
| 刊名 | 物理学报
 |
| 出版日期 | 2004 |
| 卷号 | 53期号:2页码:503-507 |
| 公开日期 | 2013-09-23 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/49538]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘元富,张谷令,王久丽,等. 脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究[J]. 物理学报,2004,53(2):503-507. |
| APA | 刘元富,张谷令,王久丽,刘赤子,&杨思泽.(2004).脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究.物理学报,53(2),503-507. |
| MLA | 刘元富,et al."脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究".物理学报 53.2(2004):503-507. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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