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Si_(0.5)Ge_(0.5)合金的热氧化物的研究

文献类型:期刊论文

作者邢益荣 ; 崔玉德 ; 殷士端 ; 张敬平 ; 李侠 ; 朱沛然 ; 徐田冰
刊名半导体学报
出版日期1995
期号7页码:491-496
公开日期2013-09-24
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/52531]  
专题物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
邢益荣,崔玉德,殷士端,等. Si_(0.5)Ge_(0.5)合金的热氧化物的研究[J]. 半导体学报,1995(7):491-496.
APA 邢益荣.,崔玉德.,殷士端.,张敬平.,李侠.,...&徐田冰.(1995).Si_(0.5)Ge_(0.5)合金的热氧化物的研究.半导体学报(7),491-496.
MLA 邢益荣,et al."Si_(0.5)Ge_(0.5)合金的热氧化物的研究".半导体学报 .7(1995):491-496.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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