Si中注Pb的红外瞬态退火
文献类型：期刊论文
| 作者 | 殷士端 ; 张敬平 ; 顾诠 ; 许振嘉 ; 刘家瑞 ; 章其初 ; 李大万 |
| 刊名 | 半导体学报
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| 出版日期 | 1987 |
| 期号 | 3页码:308-311 |
| 公开日期 | 2013-09-24 |
| 源URL | [http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/52688]  |
| 专题 | 物理研究所_物理所公开发表论文_物理所公开发表论文_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 殷士端,张敬平,顾诠,等. Si中注Pb的红外瞬态退火[J]. 半导体学报,1987(3):308-311. |
| APA | 殷士端.,张敬平.,顾诠.,许振嘉.,刘家瑞.,...&李大万.(1987).Si中注Pb的红外瞬态退火.半导体学报(3),308-311. |
| MLA | 殷士端,et al."Si中注Pb的红外瞬态退火".半导体学报 .3(1987):308-311. |
入库方式： OAI收割
来源：物理研究所
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