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脉冲激光等离子体淀积a-Si:H

文献类型:学位论文

作者洪熙春
学位类别硕士
答辩日期1996-11-19
授予单位中国科学院物理研究所
导师王天眷
学位专业原子分子物理
索取号XW0478
语种中文
公开日期2013-10-10
源URL[http://ir.iphy.ac.cn/handle/311004/55024]  
专题物理研究所_物理所学位论文_物理所学位论文_学位论文
推荐引用方式
GB/T 7714
洪熙春. 脉冲激光等离子体淀积a-Si:H[D]. 中国科学院物理研究所. 1996.

入库方式: OAI收割

来源:物理研究所

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