电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型
文献类型：会议论文
| 作者 | 李帅辉 ; 樊菁; 舒勇华
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| 出版日期 | 2011 |
| 会议名称 | LHD2011夏季学术研讨会 |
| 会议日期 | 2011 |
| 会议地点 | 内蒙赤峰 |
| 关键词 | 电子束物理气相沉积（EBPVD） 非平衡蒸气粒子输运模型 自由分子流假设失效判据 金属蒸气粒子VHS 模型参数 直接模拟Monte Carlo（DSMC）方法 大面积均匀薄膜制备工艺 |
| 页码 | 395-400 |
| 中文摘要 | 电子束物理气相沉积（EBPVD）是现代功能薄膜制备的重要方法之一，本文对EBPVD 中蒸气粒子的非平衡输运模型研究进展进行了综述。首先，对工程中广泛应用的自由分子流假设的适用范围进行了分析，指出了自由分子流假设失效的判别准则。当蒸发速率增大，自由分子流假设不再成立时，目前最有力的跨流域分析工具是直接模拟Monte Carlo（DSMC）方法，因此第二个关键问题是如何确定金属蒸气粒子的碰撞参数。再者，完成了多源蒸发大面积钇钛薄膜中三维低密度非平衡射流的DSMC 模拟，及薄膜检测结果和多种测量数据的对比。最后，针对多源EBPVD，给出了一个可以制备大面积多组分均匀薄膜的优化方案。 |
| 会议录 | 高温气体动力学研究进展
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/47966]  |
| 专题 | 力学研究所_高温气体动力学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李帅辉,樊菁,舒勇华. 电子束物理气相沉积中的非平衡蒸气射流输运模型[C]. 见:LHD2011夏季学术研讨会. 内蒙赤峰. 2011. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
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