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多弧离子镀TiN和(TiZrCr)N膜中宏观颗粒的SEM分析

文献类型:会议论文

作者曹尔妍; 张勇
出版日期2000
会议名称第十一次全国电子显微学会议
会议日期2000-6-30
会议地点中国云南昆明
关键词宏观颗粒 大颗粒 直流偏压 表面形貌 0 颗粒密度 00 脉冲偏压 复合膜 0 颗粒形状 颗粒直径 熔池
页码565-566
合作状况国内
会议录第十一次全国电子显微学会议论文集
语种中文
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/48100]  
专题力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式
GB/T 7714
曹尔妍,张勇. 多弧离子镀TiN和(TiZrCr)N膜中宏观颗粒的SEM分析[C]. 见:第十一次全国电子显微学会议. 中国云南昆明. 2000-6-30.

入库方式: OAI收割

来源:力学研究所

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