微电子机械系统的计算机辅助设计
文献类型：会议论文
| 作者 | 王立森 ; 赵亚溥; 胡宇群; 赵亚溥; 孙克豪
|
| 出版日期 | 2000 |
| 会议名称 | “力学2014”学术大会 |
| 会议日期 | 2000-8-1 |
| 会议地点 | 中国北京 |
| 关键词 | 微电子机械系统 计算机辅助设计 模拟 低阶动态宏模型 |
| 页码 | 621-622 |
| 中文摘要 | 概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计。分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题。采用基于能量的方法构造可取代全三维完整模拟的低阶分析宏模型来近似表示静电致动微系统结构变形,使微系统的计算机辅助设计和仿真模拟系统更易于实现。 |
| 合作状况 | 国内 |
| 会议录 | “力学2000”学术大会论文集
 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/48117]  |
| 专题 | 力学研究所_力学所知识产出(1956-2008) |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王立森,赵亚溥,胡宇群,等. 微电子机械系统的计算机辅助设计[C]. 见:“力学2014”学术大会. 中国北京. 2000-8-1. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。