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粘着接触滞后模型

文献类型:会议论文

作者赵亚溥; 赵亚溥
出版日期2003
会议名称2003年纳米和表面科学与技术全国会议
会议日期2003-3-1
会议地点中国北京
关键词滞后模型 电子机械 MEMS器件 机械系统 0 普遍存在 00 主要因素 0 重要因素 学行 行都 微电
页码101-101
中文摘要随着微电了机械系统(MEMS)和纳电子机械系统(NEMS)的发展,微纳尺度下的粘着接触问题变得越发重要。许多MEMS器件的制备和运行都表明粘着接触是引起失效的主要因素,同样粘着接触也足影响纳尺度物体力学行为的重要因素。在粘着接触中,接触滞后是一个普遍存在的现象。所谓接触滞后,就是在粘着接触中,使两个粘着
合作状况国内
会议录2003年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集
语种中文
源URL[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/48159]  
专题力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式
GB/T 7714
赵亚溥,赵亚溥. 粘着接触滞后模型[C]. 见:2003年纳米和表面科学与技术全国会议. 中国北京. 2003-3-1.

入库方式: OAI收割

来源:力学研究所

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