射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 周惠娣 ; 李红轩; 陈建敏
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| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 54期号:4页码:1885-1889 |
| 关键词 | 等离子增强化学气相沉积 类金刚石薄膜 射频功率 结构和性能 plasma-enhanced chemical vapor deposition diamond-like carbon films RF power structure and properties |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| 通讯作者 | 陈建敏 |
| 中文摘要 | 利用直流-射频-等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、Raman 光谱、x 射线光电子能谱、红外光谱和纳米压痕仪考察了射频功率对类金刚石薄膜表面形貌、微观结构、硬度和弹性模量的影响. 结果表明, 制备的薄膜具有典型的含H 类金刚石结构特征, 薄膜致密均匀, 表面粗糙度很小. 随着射频功率的升高, 薄膜中成键H 的含量逐渐降低, 而薄膜的sp3 含量、硬度以及弹性模量先升高, 后降低, 并在射频功率为100 W时达到最大. |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 收录类别 | SCI ; CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金(批准号:59925513;50323007);国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA305670);中国科学院“百人计划” |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-03 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/5108]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 兰州化学物理研究所_先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| 通讯作者 | 陈建敏 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周惠娣,李红轩,陈建敏. 射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响[J]. 物理学报,2005,54(4):1885-1889. |
| APA | 周惠娣,李红轩,&陈建敏.(2005).射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响.物理学报,54(4),1885-1889. |
| MLA | 周惠娣,et al."射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响".物理学报 54.4(2005):1885-1889. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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