用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李红轩
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| 刊名 | 摩擦学学报
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 25期号:4页码:298-302 |
| 关键词 | 等离子体增强化学气相沉积 类金刚石碳薄膜 结构 摩擦磨损性能 PECVD DLC film structure friction and wear behavior |
| ISSN号 | 1004-0595 |
| 通讯作者 | 张治军 |
| 中文摘要 | 利用射频-直流等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上沉积类金刚石碳薄膜, 采用激光拉曼光谱仪和原子力显微镜对薄膜的结构和表面形貌进行表征, 采用纳米压痕仪测定薄膜的硬度, 并用UM T 型微摩擦磨损试验机考察了薄膜在不同试验条件下的摩擦磨损性能. 结果表明: 所制备的类金刚石碳薄膜表面光滑致密且硬度较高; 在干摩擦条件下与GCr15 钢球或Al2O3 球配副时显示出良好的减摩抗磨性能, 摩擦系数较低, 耐磨寿命较长, 而在水润滑条件下同Al2O3 球配副时发生灾难性磨损. |
| 学科主题 | 材料科学与物理化学 |
| 收录类别 | EI ; CSCD |
| 资助信息 | 国家“863”计划资助项目(2002AA302607) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:2002064 |
| 公开日期 | 2014-03-03 |
| 源URL | [http://210.77.64.217/handle/362003/5187]  |
| 专题 | 兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李红轩. 用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究[J]. 摩擦学学报,2005,25(4):298-302. |
| APA | 李红轩.(2005).用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究.摩擦学学报,25(4),298-302. |
| MLA | 李红轩."用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究".摩擦学学报 25.4(2005):298-302. |
入库方式： OAI收割
来源：兰州化学物理研究所
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