三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈波
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| 刊名 | 激光与光电子学进展
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| 出版日期 | 2013-05-10 |
| 期号 | 05页码:157-163 |
| 关键词 | 激光技术 三波长激光器 皮秒激光 精细加工 |
| 中文摘要 | 为了满足不同材料的精细加工需求,采用三波长皮秒激光器作为光源,配合自行设计的光学系统和控制系统,研制了三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统。该系统可使用任意一种、两种或三种激光波长进行同工作距加工,通过轴向色差补偿设计,实现轴向焦点补偿最大距离0.4mm,最小焦斑直径为3μm。初步探讨了该系统在微电子行业的应用,进行了铜电极板、手机屏的切割实验以及位置敏感阳极探测器图形的制作,实验证明该系统可满足多种材料的精细加工要求。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38218]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈波. 三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用[J]. 激光与光电子学进展,2013(05):157-163. |
| APA | 陈波.(2013).三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用.激光与光电子学进展(05),157-163. |
| MLA | 陈波."三波长同轴输出皮秒激光精细加工系统的研制及其应用".激光与光电子学进展 .05(2013):157-163. |
入库方式： OAI收割
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