光学加工中真空夹具设计及分析
文献类型:期刊论文
作者 | 孙振![]() ![]() ![]() |
刊名 | 真空
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出版日期 | 2013-07-25 |
期号 | 04页码:78-82 |
关键词 | 真空夹具 光学元件 防护层 光学加工 |
中文摘要 | 为了在光学加工中快速、可靠地装夹光学元件,设计了真空夹具,对该真空夹具引起光学元件变形量进行了分析。首先,根据光学加工对夹具的要求,应用手动静压快速夹头以及传统真空吸盘结构,设计了真空夹具;接着,对真空夹具引起光学元件变形量进行了仿真分析,并根据分析结果改进了真空夹具结构;最后,针对改进后的真空夹具进行了仿真验证。仿真结果表明:有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量在0.1μm~0.32μm之间,是没有防护层的真空夹具引起光学元件表面最大变形量的1/14。该种真空夹具可以应用于高精度光学加工中。 |
收录类别 | CNKI |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2014-03-07 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38291] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙振,李显凌,陈华男. 光学加工中真空夹具设计及分析[J]. 真空,2013(04):78-82. |
APA | 孙振,李显凌,&陈华男.(2013).光学加工中真空夹具设计及分析.真空(04),78-82. |
MLA | 孙振,et al."光学加工中真空夹具设计及分析".真空 .04(2013):78-82. |
入库方式: OAI收割
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