大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张方程 ; 于海利 ; 周敬萱 |
| 刊名 | 长春工业大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 2013-04-15 |
| 期号 | 02页码:195-199 |
| 关键词 | 镀膜机 中阶梯光栅 膜层均匀性 |
| 中文摘要 | 以内径1.1m的大尺寸中阶梯光栅镀膜机为例,设计了提高膜厚均匀性的修正挡板,并应用到了镀膜机中。在520mm×520mm的镀膜面积范围内,膜层厚度的均匀性误差从±6%降低至±0.96%,满足大尺寸中阶梯光栅研制的膜厚均匀性要求。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38322]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张方程,于海利,周敬萱. 大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2013(02):195-199. |
| APA | 张方程,于海利,&周敬萱.(2013).大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究.长春工业大学学报(自然科学版)(02),195-199. |
| MLA | 张方程,et al."大尺寸中阶梯光栅铝膜均匀性研究".长春工业大学学报(自然科学版) .02(2013):195-199. |
入库方式： OAI收割
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