扫描镜非接触式检测系统的位置误差分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高志良 ; 汪逸群; 颜昌翔
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| 刊名 | 红外与激光工程
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| 出版日期 | 2013-07-25 |
| 期号 | 07页码:1804-1808 |
| 关键词 | 扫描镜 误差分析 坐标变换 蒙特卡罗法 |
| 中文摘要 | 为了满足非接触式扫描镜检测系统的位置检测精度要求,分析系统各误差源对扫描镜位置检测精度的影响,制定详细的系统总体误差分配方案。分析系统的主要误差源,根据系统相关参数,利用齐次坐标转换法,建立系统引入误差量的数学模型,计算各误差源的误差传递系数;参考误差传递系数,根据加工、装调和检测水平相关数据,应用蒙特卡罗法分析计算,进行误差分配。结果表明,目前的加工、装调能力无法达到该系统的精度要求,提出了一种依据目前的检测水平进行误差分配的方法,最终应用误差补偿实现扫描镜位置检测极限误差优于2.5″。采用一字线激光器作为光源,通过0.5″莱卡经纬仪和千分表进行检测,达到系统要求的检测精度。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38369]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高志良,汪逸群,颜昌翔. 扫描镜非接触式检测系统的位置误差分析[J]. 红外与激光工程,2013(07):1804-1808. |
| APA | 高志良,汪逸群,&颜昌翔.(2013).扫描镜非接触式检测系统的位置误差分析.红外与激光工程(07),1804-1808. |
| MLA | 高志良,et al."扫描镜非接触式检测系统的位置误差分析".红外与激光工程 .07(2013):1804-1808. |
入库方式： OAI收割
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