用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估
文献类型：期刊论文
| 作者 | 隋永新 ; 杨怀江; 高松涛
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| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2013-06-10 |
| 期号 | 06页码:110-116 |
| 关键词 | 测量 非球面检测 计算全息图 绝对标定 |
| 中文摘要 | 计算全息图(CGH)作为零位补偿器,越来越广泛地应用于高精度非球面检测领域。CGH的设计、编码、加工和装调等误差,直接限制了非球面的检测精度。提出一种切实可行的检测非球面的流程与方法,完成了对CGH基底的标定、参考镜的绝对标定和CGH的畸变校正,实现对非球面的高精度检测。除了采用传统的平方根之和(RSS)误差合成分析方法外,还通过与无像差点法测量结果的对比,从实验上获得了此方法的测量精度。实验结果表明,利用CGH对非球面进行检测的精度可以达到3.9nm[均方根(RMS)值]。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38373]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 隋永新,杨怀江,高松涛. 用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估[J]. 光学学报,2013(06):110-116. |
| APA | 隋永新,杨怀江,&高松涛.(2013).用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估.光学学报(06),110-116. |
| MLA | 隋永新,et al."用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估".光学学报 .06(2013):110-116. |
入库方式： OAI收割
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