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超光滑加工技术中光学元件表面材料的均匀去除

文献类型:期刊论文

作者刘健; 王君林; 陈华男
刊名光子学报
出版日期2013
期号04页码:417-422
关键词小磨头 超光滑加工 均匀去除 等值驻留时间
中文摘要超光滑加工通常是在保证光学元件面型精度不劣化前提下提升其中高频精度.均匀去除是保证超光滑加工过程中光学元件面型精度不劣化的重要途径.本文以四轴三联动小磨头超光滑加工机床为基础,结合Preston假设,研究了四轴三联动超光滑加工机床对光学元件的材料去除特性,发现当机床取某些特定的参量时,通过等值的驻留时间规划即可实现光学元件表面材料的均匀去除.最后,对这些特定的参量进行了对比实验.实验结果验证了理论分析的正确性.
收录类别CNKI
语种中文
公开日期2014-03-07
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38386]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
刘健,王君林,陈华男. 超光滑加工技术中光学元件表面材料的均匀去除[J]. 光子学报,2013(04):417-422.
APA 刘健,王君林,&陈华男.(2013).超光滑加工技术中光学元件表面材料的均匀去除.光子学报(04),417-422.
MLA 刘健,et al."超光滑加工技术中光学元件表面材料的均匀去除".光子学报 .04(2013):417-422.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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