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QF1基底上可见光区宽带增透膜研究

文献类型:期刊论文

作者王彤彤; 李帅; 高劲松
刊名人工晶体学报
出版日期2013-06-15
期号06页码:1104-1108
关键词光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率
中文摘要本文以QF1为基底设计了一种宽带可见光区增透膜,即:增透波长0.4~0.8μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明平均透过率达98.43%,通过SEM的膜层截面证实膜层比设计略偏厚,导致测试透过率与设计相比略有红移,但实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽带的增透特性。环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中。
收录类别CNKI
语种中文
公开日期2014-03-07
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38425]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
王彤彤,李帅,高劲松. QF1基底上可见光区宽带增透膜研究[J]. 人工晶体学报,2013(06):1104-1108.
APA 王彤彤,李帅,&高劲松.(2013).QF1基底上可见光区宽带增透膜研究.人工晶体学报(06),1104-1108.
MLA 王彤彤,et al."QF1基底上可见光区宽带增透膜研究".人工晶体学报 .06(2013):1104-1108.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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