大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈赟 ; 张红胜 ; 李艳茹 |
| 刊名 | 长春理工大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 2013-06-15 |
| 期号 | Z1页码:10-12 |
| 关键词 | 玻璃网格板 计量圆光栅 制作工艺 光刻胶 刻线间距 |
| 中文摘要 | 玻璃网格板是一种相互垂直的纵、横刻线的二维线纹标准器,用来检测航测仪器、遥感仪器和各类二维坐标测量仪器的精度,因此,它的精度直接影响待检仪器的精度。结合计量圆光栅的制作工艺,详细介绍了基于光刻胶的玻璃网格板新型制作工艺,检验结果表明该种工艺制作的玻璃网格板线条均匀,280mm内刻线间距精度小于1μm。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38461]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈赟,张红胜,李艳茹. 大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2013(Z1):10-12. |
| APA | 陈赟,张红胜,&李艳茹.(2013).大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究.长春理工大学学报(自然科学版)(Z1),10-12. |
| MLA | 陈赟,et al."大尺寸玻璃网格板制作工艺的研究".长春理工大学学报(自然科学版) .Z1(2013):10-12. |
入库方式： OAI收割
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