增益-腔模失配型高温工作垂直腔面发射半导体激光器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张星 ; 秦莉; 曾玉刚; 宁永强; 王立军
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| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 2013-05-10 |
| 期号 | 05页码:6-13 |
| 关键词 | 激光器 垂直腔面发射半导体激光器 高温工作 增益-谐振腔腔模失配 自平坦化台面 |
| 中文摘要 | 理论分析了温度对垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)工作性能的影响,利用VCSEL的增益-腔模失配理论设计了适用于高温环境下工作的VCSEL外延结构并对该结构进行了外延生长及工艺制备。理论分析表明,采用势垒高度大于0.25eV的量子阱有源区结构可以缓解高温工作时器件的载流子泄漏问题。设计了室温下增益-腔模偏离为11nm的器件结构。理论分析表明,在320K时与器件腔模对应的增益谱波长具有最大的光增益,此时器件具有最小的阈值电流。对分布式布拉格反射镜(DBR)的反射率进行了优化以进一步减小器件阈值电流。采用了一种自平坦化的台面工艺结构制作了7、9、13μm三种不同氧化口径的器件,器件在室温下的阈值电流分别为1.95、2.53、2.9mA,最大出光功率分别为0.31、1.11、1.04mW,并且输出功率的高温稳定性较好。随工作温度的升高,器件阈值电流先减小后变大,在320～330K时器件阈值达到最小值,与理论分析一致。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38529]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张星,秦莉,曾玉刚,等. 增益-腔模失配型高温工作垂直腔面发射半导体激光器[J]. 中国激光,2013(05):6-13. |
| APA | 张星,秦莉,曾玉刚,宁永强,&王立军.(2013).增益-腔模失配型高温工作垂直腔面发射半导体激光器.中国激光(05),6-13. |
| MLA | 张星,et al."增益-腔模失配型高温工作垂直腔面发射半导体激光器".中国激光 .05(2013):6-13. |
入库方式： OAI收割
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