“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 姜振华 ; 郭劲; 王挺峰
|
| 刊名 | 中国光学
 |
| 出版日期 | 2013-08-15 |
| 期号 | 04页码:544-550 |
| 关键词 | 极紫外光源 CO2激光器 参数监测 指向控制 |
| 中文摘要 | 为了满足激光诱导等离子体(LPP)体制下极紫外(EUV)光源对CO2激光器提出的稳定性需求,建立了简化的CO2激光传输系统模型,根据光束稳定性需求对光束功率、指向和位置的监测与控制方法进行了理论和实验研究。根据高功率CO2激光传输系统特点,在实验室内建立了上述光束监测和控制实验系统,包括光束功率控制模块、光束指向控制模块和光束参数监测模块,其中光束参数监测模块可实时测量光束功率、指向、尺寸及发散角等重要参数。仿真与实验结果表明:光束功率控制模块对线偏振激光功率的控制接近1%～100%,光束指向控制模块实现的光束指向稳定度在10μrad以内,可满足CO2激光驱动源的高稳定性要求。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38609]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜振华,郭劲,王挺峰. “LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统[J]. 中国光学,2013(04):544-550. |
| APA | 姜振华,郭劲,&王挺峰.(2013).“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统.中国光学(04),544-550. |
| MLA | 姜振华,et al."“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统".中国光学 .04(2013):544-550. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。