基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 代雷 ; 吴迪; 隋永新
|
| 刊名 | 红外与激光工程
 |
| 出版日期 | 2013-08-25 |
| 期号 | 08页码:2221-2225 |
| 关键词 | 曲率半径测量 激光干涉 不确定度 干涉检验 |
| 中文摘要 | 为了满足光学元件曲率半径精密检测的需求,设计了应用激光干涉方法的曲率半径精密检测系统,实现了对口径100~300 mm,曲率半径500~2 000 mm光学元件曲率半径的高精度,非接触式测量。并分析了影响曲率半径测量结果的各项不确定度,进行不确定度合成。最终完成曲率半径精密检测系统的装调,进行验证实验,曲率半径测量结果相对不确定度约7×10-6,满足了10×10-6的设计要求。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38627]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 代雷,吴迪,隋永新. 基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统[J]. 红外与激光工程,2013(08):2221-2225. |
| APA | 代雷,吴迪,&隋永新.(2013).基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统.红外与激光工程(08),2221-2225. |
| MLA | 代雷,et al."基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统".红外与激光工程 .08(2013):2221-2225. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。