Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 谢耀
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| 刊名 | 物理学报
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| 出版日期 | 2013-12-23 |
| 期号 | 24页码:219-225 |
| 关键词 | 极紫外光刻光源 毛细管放电 磁流体力学 Xe等离子体 |
| 中文摘要 | 理论和实验上研究了Xe介质毛细管放电极紫外光源等离子体时间特性和最佳条件.从理论上建立了Xe介质一维辐射磁流体力学模型,模拟了不同气压和电流条件下等离子体压缩和辐射特性;实验上测量了放电电流30 kA时不同气压条件下13.5 nm(2%带宽)动态特性.理论和实验结果表明:不同放电电流条件下,存在最佳气压值,最佳气压随着电流的增加而增加;同时,电流增加时,13.5 nm(2%带宽)辐射光强峰值时刻减小. |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38713]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢耀. Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究[J]. 物理学报,2013(24):219-225. |
| APA | 谢耀.(2013).Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究.物理学报(24),219-225. |
| MLA | 谢耀."Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究".物理学报 .24(2013):219-225. |
入库方式： OAI收割
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