离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高劲松 ; 梅林; 时光; 张立超; 张玲花
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| 刊名 | 激光技术
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| 出版日期 | 2013-09-25 |
| 期号 | 05页码:592-595 |
| 关键词 | 薄膜 LaF3 热蒸发 离子束溅射 深紫外 |
| 中文摘要 | 为了满足深紫外光刻物镜对薄膜的要求,得到低损耗、高稳定性、长寿命的深紫外薄膜,需要选用适当的镀膜工艺方法。分别选取了离子束溅射法、热舟蒸发法和电子束蒸发法优化后的最佳工艺参量,在融石英基底上使用3种方法镀制了单层LaF3薄膜。首先,利用光度法得出3种方法镀制LaF3薄膜在185nm～800nm范围内的折射率n和消光系数k。然后,采用原子力显微镜对薄膜表面粗糙度进行了测量。最后,薄膜的微结构使用X射线衍射仪进行了分析。结果表明,离子束溅射镀制的LaF3薄膜折射率最高、表面粗糙度最低,但吸收较大;电子束蒸发法虽然吸收最小,但是折射率偏低且表面粗糙度较高;热舟蒸发法镀制的LaF3薄膜无论折射率、消光系数还是表面粗糙度都处于3种方法中间位置。综合各项指标,热舟蒸发法最适合于沉积深紫外LaF3薄膜。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38714]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高劲松,梅林,时光,等. 离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜[J]. 激光技术,2013(05):592-595. |
| APA | 高劲松,梅林,时光,张立超,&张玲花.(2013).离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜.激光技术(05),592-595. |
| MLA | 高劲松,et al."离子束溅射、热舟和电子束法制备深紫外LaF_3薄膜".激光技术 .05(2013):592-595. |
入库方式： OAI收割
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