提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 谢耀
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| 刊名 | 红外与激光工程
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| 出版日期 | 2013-08-25 |
| 期号 | 08页码:2036-2040 |
| 关键词 | 毛细管 软X射线激光 XRD Rowland谱仪 类氖氩 |
| 中文摘要 | 为了提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光的强度,研究了工作介质中气体的掺杂对激光强度的影响。研究表明,在纯Ar中掺入适量的He显著地提高了激光的输出强度。通过对比在Ar中掺入Ne、N2以及Kr等其他气体的实验,系统地分析了He的掺入对等离子温度的影响,找到了在特定工作气压下最佳的掺杂比,有利于进一步提高毛细管放电46.9 nm软X射线激光的强度。在放电等离子体极紫外光刻(EUVL)光源研究过程中,也采用了在Xe中掺入适量He的方式以提高13.5 nm的输出强度。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38761]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢耀. 提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究[J]. 红外与激光工程,2013(08):2036-2040. |
| APA | 谢耀.(2013).提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究.红外与激光工程(08),2036-2040. |
| MLA | 谢耀."提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究".红外与激光工程 .08(2013):2036-2040. |
入库方式： OAI收割
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