软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试
文献类型:期刊论文
作者 | 龚学鹏![]() ![]() ![]() |
刊名 | 光学学报
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出版日期 | 2013-02-10 |
期号 | 02页码:308-313 |
关键词 | 光学器件 同步辐射 谱学显微 单色器 机械结构 重复精度 |
中文摘要 | 针对上海光源谱学显微光束线站的性能要求,对其核心部件单色器进行结构设计。阐述了单色器的扫描运动原理,论述了波长扫描机构的设计方案,具体分析平面镜和光栅的转角重复精度影响因素;描述光栅切换机构,着重分析其水平偏差、垂直偏差、滚角、摆角和投角的精度问题;采用六杆并联机构的方案完成镜箱调节机构的设计,分析其支杆的调节范围和分辨力情况。给出了单色器的结构,并且对其精度进行了测试。测试结果表明,平面镜和光栅的转角重复精度分别为0.166″和0.149″;光栅切换机构的滚角、摆角和投角的重复精度分别为0.08″、0.12″和0.05″。这说明了单色器的结构设计方案和机械精度满足技术要求。 |
收录类别 | CNKI |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2014-03-07 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38904] ![]() |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 龚学鹏,彭忠琦,卢启鹏. 软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试[J]. 光学学报,2013(02):308-313. |
APA | 龚学鹏,彭忠琦,&卢启鹏.(2013).软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试.光学学报(02),308-313. |
MLA | 龚学鹏,et al."软X射线谱学显微光束线单色器结构设计及精度测试".光学学报 .02(2013):308-313. |
入库方式: OAI收割
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