迭代最小二乘法用于非线性移相器的标定
文献类型：期刊论文
| 作者 | 隋永新 ; 杨怀江
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| 刊名 | 应用光学
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| 出版日期 | 2013-07-15 |
| 期号 | 04页码:624-628 |
| 关键词 | 光学检测 干涉测量 移相器标定 非线性 |
| 中文摘要 | 针对移相干涉仪中移相器的非线性会影响测量结果准确性的问题,提出了一种基于迭代最小二乘拟合的标定干涉仪移相器的新方法。对移相器加电压并采集若干幅干涉图后,通过在帧间和帧内迭代开展最小二乘拟合可计算出干涉图间移相值,从而得出了电压值与移相值的对应关系曲线,通过对曲线作非线性拟合并对电压值进行精密调整,完成移相器的精确标定。在改造后的干涉仪上对此标定方法进行验证,与Zygo干涉仪相比,相同元件下两者测量结果之差的RMS值为1.726nm。该标定方法可以降低高精度面形测量干涉仪对移相器线性度的要求。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38916]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 隋永新,杨怀江. 迭代最小二乘法用于非线性移相器的标定[J]. 应用光学,2013(04):624-628. |
| APA | 隋永新,&杨怀江.(2013).迭代最小二乘法用于非线性移相器的标定.应用光学(04),624-628. |
| MLA | 隋永新,et al."迭代最小二乘法用于非线性移相器的标定".应用光学 .04(2013):624-628. |
入库方式： OAI收割
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