紫外光刻光源设计与分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 谭向全
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| 刊名 | 机械工程师
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| 出版日期 | 2013-06-10 |
| 期号 | 06页码:15-16 |
| 关键词 | 紫外光刻光源 散热 快门 位置调节 |
| 中文摘要 | 设计了一种应用于以数字微镜为核心器件的光刻系统中的紫外光刻光源。提出了设计过程中需要注意的散热、快门、位置调节等事项,并针对性的对光源进行了详细设计。 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-07 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38930]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭向全. 紫外光刻光源设计与分析[J]. 机械工程师,2013(06):15-16. |
| APA | 谭向全.(2013).紫外光刻光源设计与分析.机械工程师(06),15-16. |
| MLA | 谭向全."紫外光刻光源设计与分析".机械工程师 .06(2013):15-16. |
入库方式： OAI收割
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