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用计算全息图校正非球面的畸变

文献类型:期刊论文

作者张健; 王高文; 高松涛; 隋永新; 杨怀江
刊名光学精密工程
出版日期2013-08-15
期号08页码:1929-1935
关键词非球面检测 畸变校正 干涉仪 计算全息图
中文摘要针对用计算全息图(CGH)对非球面进行检测时出现的非对称畸变,分析了3种基本的畸变模型,提出了一种有效的校正非对称畸变的方法。该方法采用较少的拟合参数即可实现对非对称畸变的精确校正,从而可以较大程度地减少畸变校正所需要的数据点对,避免过度拟合效应。通过光学仿真模拟分析了整个干涉仪系统的畸变,并利用以上方法对畸变进行了校正。仿真结果显示,畸变校正的相对残差小于0.2%。最后,设计并制作了处于离轴工作状态的CGH,并用此CGH对非球面进行了检测。利用上述畸变校正方法对测量的非球面面形进行校正,并用校正之后的结果进行加工迭代,最终非球面面形的收敛精度达到1.8nm(RMS),得到的结果验证了提出的畸变校正方法的可靠性。
收录类别CNKI
语种中文
公开日期2014-03-07
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39003]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
张健,王高文,高松涛,等. 用计算全息图校正非球面的畸变[J]. 光学精密工程,2013(08):1929-1935.
APA 张健,王高文,高松涛,隋永新,&杨怀江.(2013).用计算全息图校正非球面的畸变.光学精密工程(08),1929-1935.
MLA 张健,et al."用计算全息图校正非球面的畸变".光学精密工程 .08(2013):1929-1935.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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