一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置
文献类型：专利
| 作者 | 倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全 |
| 发表日期 | 2013-04-17 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL201110212311.0 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决现有光刻投影物镜的加工制造过程中光学镜片的支撑由于受到装调力和加工误差的影响，降低镜片的面形精度的问题，该装置包括支座和镜框，镜片通过支座支撑在镜框内，所述镜框为环形，在环形镜框底部向环内延伸处设置有支撑部。本发明所述的支撑结构简单、易于加工制造，可对光学元件进行超精密定位；并且能够对外界环境的变化进行有效补偿，极好的保持了光学元件的面形精度，可使投影物镜获得极佳的成像性能。本发明不仅适用于折射式光学镜片还可用于反射式光学元件的高精度支撑。 |
| 公开日期 | 2014-03-11 |
| 申请日期 | 2011-07-27 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | 201110212311.0 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39131]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 倪明阳,巩岩,张巍,赵磊,王学亮,袁文全. 一种光刻机投影物镜镜片的支撑装置. ZL201110212311.0. 2013-04-17. |
入库方式： OAI收割
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