S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 赵菲菲 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2013-11-28 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 导师 | 黄玮 |
| 关键词 | 计算机辅助装调 S-H波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |
| 学位专业 | 光学 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2014-03-15 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39575]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵菲菲. S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究[D]. 中国科学院大学. 2013. |
入库方式： OAI收割
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