介绍了磁致伸缩微位移驱动器的工作原理, 分析了检测方法, 设计了使用双频激光干涉仪作为测量基准的测试平台; 对该驱动器的位移的输出特性进行了测试, 通过拟合处理对测试结果进行数据分析, 可提高超磁致伸缩微位移驱动器的线性度和控制精度, 使得驱动器性能改善。基于磁致伸缩效应原理研制的微位移驱动器, 具有线性好、分辨率高、精度高等优点, 经测试, 达到了设定的参数指标要求。