合理地选择精磨阶段面形检测方法，可以迅速使面形参数被控制到理想参数附近，降低后续抛光阶段的难度和加工成本。其中使用接触式表面轮廓仪对被检镜面进行测量，由于其成本低廉结构简单，得到了越来越多的关注。特别是对于离轴非球面和凸非球面的检测，该方法有可实时地检测被加工镜面，且对于不同的面形参数的镜面具有较好的通用性。

为了验证该方法的可行性，本文用C++编制了面形检测程序,利用移相干涉仪检测的镜面误差数据，分别以顶点曲率半径为R=1490mm、口径D=150mm、离轴量b=125mm、二次曲面系数分别为k=-1 和k=-2 的离轴抛物面和离轴双曲面为例，进行模拟计算。并分析了对于理想数据不同孔径形状下的拟合情况，其最大的拟合误差不超过100nm，完全满足精磨检测的要求。证实了该算法在精磨阶段检测的可行性。