本文简单介绍了主动抛光盘技术的基本原理，重点讨论了抛光盘的变形技术，并对抛光盘的变形测试进行了精度分析。为了探讨深非球面度镜面的磨制，在对F/2面形变形测试的基础上，根据抛光盘机电结构，选择了F/1.5、F/1.2面形进行了变形测试。随着抛光盘非球面度的变深，由于系统响应速度跟不上，变形误差变大，因此进一步探讨了主动抛光盘的动态响应和校正。
 

最后根据抛光盘前期设计的经验和变形测试中发现的问题，对磨镜机床控制系统以及抛光盘的变形控制系统进行了改进设计，并对变形系统进行了仿真。