物理气相沉积界面吸附系数与薄膜组分的相互依赖关系
文献类型：会议论文
| 作者 | 刘崇 ; 王连红; 马月芬; 舒勇华; 樊菁
|
| 出版日期 | 2013 |
| 会议名称 | 中国力学大会——2013 |
| 会议日期 | 2013-08-19 |
| 会议地点 | 中国北京 |
| 关键词 | 物理气相沉积 界面吸附 薄膜 相互依赖关系 系数 组分 高温超导 分子动力学模拟 电子束 沉积界面 蒸发实验 相关度 控制问题 室温 定性分析:组元:物理机制:奠定基础:研究结果:进一步:0 |
| 中文摘要 | 以YBa_2Cu_3O_(7-δ)高温超导薄膜制备中的组分控制问题为背景,通过电子束三源共蒸发实验定性分析了Y_t,BaF_2和Cu_3种组元的吸附系数对温度、界面组分的依赖关系。结果表明:Y_t和BaF_2的吸附系数与温度、沉积界面组分的相关度非常小;Cu的吸附系数在室温沉积时也与界面组分不相关,而在300℃和600℃下高温沉积时Cu的吸附系数随着BaF_2组分的增大而显著降低。最后,借助分子动力学模拟诠释了上述规律的物理机制。此研究 |
| 会议录 | 中国力学大会——2013论文摘要集
 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/48572]  |
| 专题 | 力学研究所_高温气体动力学国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘崇,王连红,马月芬,等. 物理气相沉积界面吸附系数与薄膜组分的相互依赖关系[C]. 见:中国力学大会——2013. 中国北京. 2013-08-19. |
入库方式： OAI收割
来源：力学研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。