陶瓷薄膜制备及应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 卢旭晨 ; 李佑楚 ; 韩铠 ; 王风鸣 |
| 刊名 | 材料导报
 |
| 出版日期 | 1999 |
| 期号 | 06页码:35-38 |
| 关键词 | 陶瓷薄膜 制备 应用 |
| 中文摘要 | 对各种薄膜制备方法的特点(即物理方法、化学方法)进行阐述,并且从氧化物和非氧化物的角度,综述了陶瓷薄膜作为硬质薄膜、气敏薄膜以及铁电、压电等微电子薄膜的应用。 |
| 公开日期 | 2014-03-14 |
| 版本 | 出版稿 |
| 源URL | [http://ir.ipe.ac.cn/handle/122111/7424]  |
| 专题 | 过程工程研究所_研究所（批量导入） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 卢旭晨,李佑楚,韩铠,等. 陶瓷薄膜制备及应用[J]. 材料导报,1999(06):35-38. |
| APA | 卢旭晨,李佑楚,韩铠,&王风鸣.(1999).陶瓷薄膜制备及应用.材料导报(06),35-38. |
| MLA | 卢旭晨,et al."陶瓷薄膜制备及应用".材料导报 .06(1999):35-38. |
入库方式： OAI收割
来源：过程工程研究所
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